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掃描電鏡結構設計合理

 更新時間:2018-08-29 點擊量:1781
   掃描電鏡結構設計合理
   掃描電鏡的分辨率介于光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間,但在對厚塊試樣的觀察進行比較時,因為在透射電子顯微鏡中還要采用復膜方法,而復膜的分辨率通常只能達到10nm,且觀察的不是試樣本身。因此,用掃 描電鏡觀察厚塊試樣更有利,更能得到真實的試樣表面資料。
   觀察試樣的各個區域的細節。試樣在樣品室中可動的范圍非常大,其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2-3cm,故實際上只許可試樣在兩度空間內運動,但在掃描電鏡中則不同。由于工作距離大(可大于20mm)。焦 深大(比透射電子顯微鏡大10倍)。樣品室的空間也大。因此,可以讓試樣在三度空間內有6個自由度運動(即三度空間平移、三度空間旋轉)。且可動范圍大,這對觀察不規則形狀試樣的各個區域帶來極大的方便。
   掃描電鏡在大視場、低放大倍數下觀察樣品,用掃描電鏡觀察試樣的視場大。在掃描電鏡中,能同時觀察試樣的視場范圍F由下式來確定:F=L/M式中 F——視場范圍;M——觀察時的放大倍數;L——顯象管的熒光屏 尺寸。若掃描電鏡采用30cm(12英寸)的顯象管,放大倍數15倍時,其視場范圍可達20mm,大視場、低倍數觀察樣品的形貌對有些領域是很必要的,如刑事偵察和考古。
   進行從高倍到低倍的連續觀察,放大倍數的可變范圍很寬,且不用經常對焦。掃描電鏡的放大倍數范圍很寬(從5到20萬倍連續可調),且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續觀察,不用重新聚焦, 這對進行事故分析特別方便。
   因電子照射而發生試樣的損傷和污染程度很小。同其他方式的掃描電鏡比較,因為觀察時所用的電子探針電流小,電子探針的束斑尺寸小,電子探針的能量也比較小,而且不是固定一點照射試樣,而是以光柵狀掃描 方式照射試樣。因此,由于電子照射面發生試樣的損傷和污染程度很小,這一點對觀察一些生物試樣特別重要。
   在掃描電鏡中,成象的信息主要是電子信息,根據近代的電子工業技術水平,即使高速變化的電子信息,也能毫不困難的及時接收、處理和儲存,故可進行一些動態過程的觀察,如果在樣品室內裝有加熱、冷卻、彎 曲拉伸和離子刻蝕等附件,則可以通過電視裝置,觀察相變、斷烈等動態的變化過程。

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